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洁净工程安装高效过滤器注意事项

返回列表 来源: 发布日期: 2020.11.27

洁净工程安装高效过滤器注意事项

洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

高效过滤器是洁净工程中的重中之重,一般来说,洁净室会安设有初效、中效、高效三级过滤器,高效过滤器主要用于捕集0.5um以下的颗粒灰尘及各种悬浮物,是室外空气进入洁净室的最后一道关卡。安装高效过滤器,并不是像我们日常安装空调那么简单,它是最后一道关卡,责任重大,在安装时,也有诸多的特殊要求。
特殊之处一:安装之前室内先清洁
在一般人的设想中,三级过滤器一起安装,最后一起运行便可以了。然而并非如此。洁净工程中,在安装高效过滤器之前,首先要对洁净室、洁净空调系统进行全面清洁,达到清洁要求后,净化空调系统连续运转12h以上,再次清扫、擦净洁净室后,方可安装高效过滤器。为什么要先清洁呢?高效过滤器用于捕集0.5um以下的微粒,如果不先进行清洁,大量的微粒会造成高效过滤器堵塞。
特殊之处二:轻拿轻放,防止剧烈震动
洁净工程中,高效过滤器的运输和存放应按照出产厂标志的方向搁置,运输过程中应轻拿轻放,防止剧烈振动和碰撞。这是因为高效过滤器是非常精密的仪器,头发丝般的误差便会导致仪器失灵,因此需要轻拿轻放,防止剧烈震动。
特殊之处三:安装现场再打开外包装
为什么一定要在安装现场再打开外包装呢?在出厂时,高效过滤器经过了精心的包装,包装材料也是无尘的,达到了一定的洁净等级,在洁净的环境中方可让高效过滤器曝露在空气中。
特殊之处四:安装质量好的预过滤器与中效过滤器
实施洁净工程,安装 高效过滤器后,再要更换,便十分的麻烦,因为要更换高效过滤器,整个洁净室便无法应用了。对此,洁净公司的做法是选择质量好的预过滤器与中效过滤器,以延长高效过滤器的使用寿命。
高效过滤器的型号、功率、体积、安装位置等问题,在洁净室设计中便要解决。一些洁净公司缺乏经验,或技术不到位,安装高效过滤器不得其法,影响了洁净室的使用。

洁净区部分高效过滤器进行更换时,用干净的抹布清洁高效过滤器的静压箱,然后,打开高效过滤器内包装,将密封条粘贴到高效过滤器的进风侧,平稳的把高效过滤器放入静压箱内,搬运时一定注意轻拿轻放,并记录高效过滤器规格型号、编号及安装位置。固定过滤器时,先检查过滤器在静压箱的中间,过滤器与静压箱四周离距相当,固定件应对角固定,防止受力不均或损坏过滤器。静压箱内固定螺母应旋紧,使高效过滤器与静压箱之间的连接吻合且密封。然后开启空调机组,对系统进行通风后,打开高效过滤器内包装,按以上步骤进行更换。

装好高效过滤器后,运行系统,检查有无漏风。当发现有漏风时,做如下处理:紧固固定件或更换密封条并重新安装,高效过滤器本身漏风,则需要更换新的高效过滤器。接下来,安装高效过滤器面板,安装时,按原标记好的方向安装,面板与顶棚的连接处尽量减少空隙,防止灰尘积聚。高效过滤器安装后,应重新进行环境检测,并做验证,为下次确定高效过滤器报废提供最可靠的依据。

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