电子厂净化车间的设计和设备介绍高效过滤器

电子厂净化车间的设计和设备介绍

不同级别电子厂电子厂净化车间的半导体、微电子、光电技术、光学仪器、PCB、食品、

模具等工程。按行业标准要求，净化级别从 10-30 万级。

一、净化车间 结构材料 ：

1.电子厂净化车间墙、顶板材料一般采用 50mm 厚的夹芯彩钢板、净化专用的氧化铝型

材制造。门采用净化密闭门，窗采用铝合金玻璃固定窗。

2.地面采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板。

3.净化通风管道选用镀锌薄钢板制作，并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。

1、工业厂房洁净工程、电子厂房洁净工程、化妆品厂房净化工程、光纤通讯厂房洁净工程、

丝印厂房洁净工程、网印厂房洁净工程；

2、GMP 厂房净化工程、药厂洁净工程、食品厂洁净工程、饮用水厂罐装车间洁净工程； 3、

实验室工程、无菌实验室、生物实验室、实验室净化工程整体规划设计和施工； 4、承揽中

央空调、净化领域工程设备的安装、调试及维修、保养； 5、厂房、车间、实验室空调洁净

工程、无尘室工程、无尘室改造工程； 6、工业厂房内部隔墙工程、吊顶工程、地面工程、

其他零散工程等。

单向流电子厂电子厂净化车间（1-100 级）

1-100 级的电子厂净化车间，均采用单向流的气流组织送风方式，即电子厂电子厂净化车间

内的气流在同一截面的任意一点，气流的方向和速度均保持一致，这样可以使

清洁空气象“活塞”一样，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。

要实现“活塞”的效果，高效过滤器需要布满屋顶才可实现单向流的气流组织方式。

非单向流电子厂净化车间（1000-10 万级）

1000-10 万级电子厂净化车间的气流组织方向和 100 级以上的电子厂电子厂净化车间不同，

室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动的，伴有回流或涡流，它主要靠洁净的气流不断

稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，来实现净化。不同的净化等级，主要是依靠单位时

间内所送风量的不同来实现的。

1.净化厂房墙、顶板材一般多采用 50mm 厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆

弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造 。

2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。

3.送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型 PF 发泡塑胶板。

4.高效送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁

二、 设计施工安装准备有哪些？

1. 收集与生产工艺相关的数据和资料

室内温湿度的基数和精度，需要与工艺设计人员反复确定并定下合理的参数，不要一味追求

高标准，因为基数和精度对投资和运行费用有极大的影响，但满足工艺的基本要求是必要

的。

2. 收集工程所在地的气象资料和周围环境的资料

(1)室外设计参数除一年四季的气象资料外，还需要收集当地的环境，如：含尘浓度和会影

响产品和生产工艺的各种气体的浓度。

(2)工程周围铁路、码头、飞机场等交通枢纽和交通要道的距离。工程周围的工厂。仓库。

堆场，最好远离这些场所，如无法远离，要采取相应的措施，如：新风入口加装过滤器级别

根据测得的数据来定，还要考虑是否有必要加装化学过滤器。

(3)收集生产过程中会产生的废热和有毒有害的废气的相关资料

a. 确定废热气体的温度和排风的量

b.有毒有害气体的浓度、温度和危害程度及排风的风量，并要考虑处理的对策。

(4)收集生产工艺对电、水和特种气体、大宗气体的要求

(5)收集工程建筑、结构和工艺设计的平剖面图

a. 工艺设计，电子厂净化车间装修用于的工艺种类繁多，但是，总的原则是生产工艺设备

的安装和维修，生产工艺的流程，操作程序，人员流动路线和物料传输布置时，应避免发生

气流干扰和交叉污染的发生。

b.在满足生产工艺和微震的控制，噪声控制等要求的前提下，空气洁净度要求高的电子厂电

子厂净化车间装修(区)宜靠近空调机房布置，空气洁净度等级相同的工序或工作(区)宜集中

布置。

c.应根据工艺设计要求设置运输、安装、维修的通道或检修门。

d.人员出入电子厂净化车间装修应该设置人员净化装置。

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e.物料，设备出入电子厂净化车间装修要设置净化设施，设置气闸室或传递窗。

f.洁净区域内设置真空泵时，应有除油装置，尾气排放应接至室外，传输有可燃气体的系统，

其浓度超过爆炸下限 20%时应有尾气处理装置，应去除或稀释可燃气体的成份，传输易燃自

燃化学品或高浓度氧气时，应采用不燃的泵油，并配置氮气吹扫控制阀，并且与工艺

设备的操作系统联锁。

三、 一般 电子厂 电子厂净化车间基本工作原理及净化参数

净化原理 气流→初效空气处理→空调→中效空气处理→风机送风→净化管道→高效送风口

→电子厂电子厂净化车间→带走尘埃（细菌） → 回风夹道→新风、初效空气处理。重复以

上过程，即可达到净化目的。技术参数换气次数：十万级 10－15 次/小时；万级 15－25 次/

小时；千级 50－52 次/小时;百级操作台断面风速 0.25-0.35m/s。

净化参数

换气次数：100000 级≥15 次；10000 级≥20 次；1000≥30 次。

压差：主车间对相邻房间≥5Pa

平均风速：10 级、100 级 0.3－0.5m/s；

温度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波动±2℃。

温度 45－65％；GMP 粉剂车间湿度在 50％左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。

噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的 10％－30％；照度 300LX

压差：主车间对相邻房间≥5Pa。

温度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；

相对湿度：45－65％（RH）；噪声≤65dB（A）；新风补充量：总送风量的 20％－30％；

照度：≥300Lux。

电子厂净化车间目 装修施工项目  ：

1、隔墙板：包括窗户、门,材料是彩钢板，但彩钢板的夹芯有很多种。

2、天花吊顶：包括吊杆、纲梁、天花板格子梁，材料一般是：彩钢板与无尘板。

3、照明器具：采用无尘专用灯具。

4、电子厂净化车间制作主要包括天花吊顶、空调系统、隔断、地面、以及照明灯具。

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5、地板：高架地板或防静电 PVC 地板或环氧树脂地板。

6、空调系统：包括主机、风管、过滤器系统、FFU 等。

四 、 电子厂净化车间 结构设计概况与净化要求

电子厂净化车间是生产 VCD 和 DVD 电子元件的关键部分,在建筑平面上被安排在厂房的

中间(如图 1)。厂房为钢结构,生产车间为单层建筑,办公部分为两层建筑,电子厂净化车间

的吊顶高度为 3.3m,层高为 811m。电子厂净化车间吊顶与屋面之间,敷设送风管、回风管、

排风管等多种工艺管道和高效过滤器,吊顶由内夹聚氨脂塑料泡沫层的夹心彩钢板组装而成,

上人吊顶与墙面之间的缝隙用密封胶填密,地面到吊顶采用埃特板构成回风井道,并和回风

管连接。第 1、第 2 车间面积各为 2160m2 工作人员各为 400 人,第 3 车间面积 1080m2,200

人;各车间,检测室,卫生室和吹淋通道的温度要求为 23℃±2℃,湿度 60%±10%,室内正压大

于 10Pa,吹淋通道净化级别为 100 级,其余为 10 万级。

净化空调系统的设计：

该厂的电子厂净化车间,最大单间面积 2160m2,空间大,风量大,相邻空调机房的噪声处理困

难以及吊顶内的管线多,为此净化空调分设三个独立的系统。

每个净化系统均设初效、中效、高效过滤器。初效过滤器安装在新风管上,中效过滤器安装

在空调柜内,高效过滤器安装在吊顶上 G———室内发尘量,粒/(m3 ・min) M———大气含尘

浓度,粒/Ln———换气次数,次/hS———回风量和全风量的比ηn———新风通路上过滤器

总效率ηr———回风通路上过滤器总效率电子厂电子厂净化车间新风量的确定,主要从三

个方面考虑;第一、室内工作人员所需的新风量,每人按 40m3/h 考虑。第二、车间内的排气

量。第三、保持正压时的门窗缝隙的漏风量。本工程选择新风量占全风量的 12%至 15%。正

压采用余压阀控制。各车间的送风、排风、新风的参数。

空气处理：

为了满足各车间的洁净要求,设计中把电子厂净化车间分成三个系统;第一、第二车间各设一

个系统,第三车间、实验室、检测室、卫生室为一个系统。空气处理机由回风段、致冷段、

加热段、加湿段、混合段、风机段、中效段、送风段组成

消声处理：

在空调设计中噪声是一个很重要的问题,对于大面积的电子厂净化车间,它的送风量比一般

的空调系统要大得多,且送风的风压也高达 116kPa,因此通风机的电机容量也比较大,达

90kPa,通风机的声功级为 115dB。消声技术在本工程中尤为突出。通过减噪计算,配置相应

的消声器和消声小室,可达到规范所要求的室内噪声标准。工程实践证明,净化工程的消声处

理不一定要用价格昂贵的微穿孔板消声器;在设计中计算出各倍频中心频率的噪声量后,针

对其超标的频率噪声,采用廉价的不锈钢板网和中效无纺布、多孔材料制作出消声器,同样能

达到消声的目的,节约工程投资。另外,高效过滤器和中效过滤器本身也是一种很好的消声器,

在设计计算中应考虑它们的消声量。

五、电子厂净化车间的地面通常采用哪些材料

电子厂净化车间地面通常用 PVC 防静电地板、环氧树脂地坪漆比较多。电子厂净化车间地面

常用材料：

01 工程名称:PVC 地板

产品特点:

1、耐磨、耐腐蚀，性能稳定

2、装饰效果好，施工方便

3, 基材为半硬质的 PVC 塑料

4、不产生火花和阻燃

施工工艺:

1,清理地面，清除浮沉，定位铺设基准线

2、铺拉接地倒网(铜箔)，涂刷导电胶

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3. 铺贴 PVC 地板，滚压 PVC 地板

4、开 4mm 静电接地

适用场所:电子厂，半导体厂，光电产业，包装品，机电房.汽车工业等

02 防静电 PVC 地板

产品特点:

直铺式 PVC 防静电地板十分柔韧，结构均一，由表面涂有特殊导电液体 的彩 色聚氯 乙烯

PVC 片组成，并经过静态压挤制成坚实的 PVC 块永久导电，表面低静电压，不吸附尘埃，规

格统一，图案精美，颜色持久。

施工工艺:

1、基面处理。

2、漫刮自流平水泥找平。

3、涂刷导电底胶口

4、铺设铜箔。

5、贴 PVC 板。

7、焊接口

8、表面清洁口

适用场所:适用于电信、电子电力、微电子、医学等行业的程控机房、计算机房、电

力调度室、电子厂净化车间等要求净化及防静电的场所。

03 工程名称:高架地板

产品特点:

1、具有系统防静电能力

2、优质的防火.防潮性能

3、承载力

4、抗污性佳

施工工艺:

1、在清洁的地面上划线

2、支架横梁装配

3, 调整横梁水平、紧固螺钉

4, 铺设活动地板

5. 施工完毕后清扫地板表面

适用场所:电子厂，半导体厂，光电产业，机电房.恒温恒室实验室，百级电子厂电子厂净化

车间等

04 工程名称:环氧树脂自流平型地流

产品特点:

1、耐磨、防滑、防菌、防霉

2, 耐溶剂、耐酸碱性好

3、性能好、杭展性强

4、无缝、平滑美观甲易清洗保养

施工工艺:

1、打磨地面.清扫、吸尘

2、涂刷封闭底涂

3、刮腻子(中涂)

4、打磨、吸尘

5、自流平面

适用场所:电子厂，电器厂，食品厂，，化妆品厂，包装厂，纺织厂，服装厂等

昆山昌瑞空调净化技术有限公司，专注从事空气过滤器系列产品（初/中/高效、化学过滤器等）、洁净室净化设备（抛弃式/可更换式/自动卷绕式过滤器、高效送风口、FFU高效过滤器净化机组）的研发、生产、销售和售后。