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我国洁净室工程行业发展趋势和前景(二)

返回列表 来源: 发布日期: 2020.08.31
 市场需求:向节能方向发展
洁净厂房是我国的耗能大户之一。
据不完全统计,洁净室的能耗是一般写字楼的10~30倍。我国的8英寸芯片厂,洁净室单位面积能耗比美国同类型工厂高 15%(美国耗能 1.28 kW/m2~ 1. 6 3kW/m2,而中国耗能 1.48 kW/m2~1.93 kW/m2)。
以上海某知名芯片厂为例,其全年耗电量的51%是用于洁净室运行及相关的维护,如果将这51% 的能耗合理降低,对企业来说就意味着利润的增长。
因此,洁净室下游相关行业企业越来越重视洁净室的节能问题。这就要求洁净室工程行业企业,从客户需求出发,从设计理念、建造施工、设备配备及运行等各个方面进行节能设计,只有采取全方位的节能技术,整个洁净室行业才能持续、良性发展。
 技术走势:向空气分子控制等高端洁净室工程
空气分子污染AMC作为IC工厂所关心的问题于 20 年前最先由日本人提出,近年来,世界 IC卡技术发展迅速, IC 芯片日益微型化,目前已经有直径为0.4 mm的世界最小的非接触型无线射频识别芯片。
AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多,粒子污染控制只需要确定粒径及个数,但对 AMC 控制而言,除了受芯片线宽的缩小而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响;更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子残余对下一工序往往可能就是污染物。
因此,IC生产过程中的某些加工工序及工序间的材料传送和存放环境中,AMC 已成为严重影响成品率的重要问题,AMC 分子控制技术成为洁净室设计与施工建设的主流趋势。
目前,国内的洁净室工程行业企业中已经开始从事此方向的研究。在该领域比较领先的企业有,亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司,可以说在分子净化技术方面该公司已经走在了同行业的前列。

中国电子工程设行业的前列,中国电子工程设计院则在防微震方面技术领先。

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