我国洁净室工程行业发展趋势和前景（二）

返回列表 来源：发布日期： 2020.08.31

市场需求：向节能方向发展

洁净厂房是我国的耗能大户之一。

据不完全统计，洁净室的能耗是一般写字楼的10~30倍。我国的8英寸芯片厂，洁净室单位面积能耗比美国同类型工厂高 15%（美国耗能 1.28 kW/m2~ 1. 6 3kW/m2，而中国耗能 1.48 kW/m2~1.93 kW/m2）。

以上海某知名芯片厂为例，其全年耗电量的51%是用于洁净室运行及相关的维护，如果将这51% 的能耗合理降低，对企业来说就意味着利润的增长。

因此，洁净室下游相关行业企业越来越重视洁净室的节能问题。这就要求洁净室工程行业企业，从客户需求出发，从设计理念、建造施工、设备配备及运行等各个方面进行节能设计，只有采取全方位的节能技术，整个洁净室行业才能持续、良性发展。

技术走势：向空气分子控制等高端洁净室工程

空气分子污染AMC作为IC工厂所关心的问题于 20 年前最先由日本人提出，近年来，世界 IC卡技术发展迅速, IC 芯片日益微型化，目前已经有直径为0.4 mm的世界最小的非接触型无线射频识别芯片。

AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多，粒子污染控制只需要确定粒径及个数，但对 AMC 控制而言，除了受芯片线宽的缩小而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响；更有甚者用于某一工序的各种工艺材料（化学品、特种气体等）在很多情况下其微量的分子残余对下一工序往往可能就是污染物。

因此，IC生产过程中的某些加工工序及工序间的材料传送和存放环境中，AMC 已成为严重影响成品率的重要问题，AMC 分子控制技术成为洁净室设计与施工建设的主流趋势。

目前，国内的洁净室工程行业企业中已经开始从事此方向的研究。在该领域比较领先的企业有，亚翔系统集成科技（苏州）股份有限公司，可以说在分子净化技术方面该公司已经走在了同行业的前列。

中国电子工程设行业的前列，中国电子工程设计院则在防微震方面技术领先。

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